Gli elettroni hanno proprietà ondulatorie. A causa della loro elevata energia, gli elettroni hanno lunghezze d'onda molto corte, il che risulta in risoluzioni molto più elevate rispetto a quelle possibili con lamicroscopia ottica.

Ci sono diverse tipologie di microscopi elettronici:

• 我microscopi elettronici a trasmissione (TEM)usano un fascio di elettroni ad alto voltaggio per produrre un'immagine. Vengono rilevati gli elettroni che passano attraverso il campione.

• 我microscopi elettronici a scansione (SEM)generano un'immagine sondando la superficie di un campione.

• 我microscopi elettronici a riflessione (REM)utilizzano un fascio di elettroni che viene puntato su un campione sottile per rilevare gli elettroni sparsi che vengono riflessi dal campione.